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速度,拉制出直径均匀的单晶硅棒。
单晶硅棒必须被切成薄片,称为硅晶片。这需要一种高精度的切片机,能够将硅棒切成厚度均匀的圆形薄片,并进行后续的抛光和清洗处理。
“光刻机是重点中的重点。”陈平安用力在纸上圈出了“光刻机”三个字。他知道,这台机器的研发涉及多个领域的技术突破:
光刻机的核心是光学镜头,用来将电路图案投影到硅片上。陈平安规划了一个光学研发团队,专注于高精度镜头的制造。
解决方案:从显微镜技术入手,逐步提升光学镜头的分辨率,并尝试使用汞灯作为光源,逐步向未来的深紫外(duv)技术过渡。
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